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国内首条12英寸晶圆再生生产线在肥实现量产

2021年07月15日19:45 | 来源:人民网-安徽频道
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至纯科技在合肥新站高新区投资建设的晶圆再生基地。人民网 张俊摄

人民网合肥7月15日电(张俊) 7月15日上午,经过一年多时间的建设、调试,国内首个立项的十二英寸晶圆再生项目——合肥至微半导体有限公司实现量产。该项目填补了合肥集成电路产业链又一空白,全面达产后可形成每年168万片晶圆再生及120万件半导体零部件再生产能。

“晶圆再生”,指通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷,使处理后的晶圆达到新片的标准,实现循环利用,进而为企业节约大量成本。

合肥至微项目位于合肥新站高新区,项目总投资近10亿元,是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目载体。上海至纯科技董事长蒋渊告诉人民网安徽频道,合肥至微晶圆再生项目以14纳米晶圆厂需求为设计基础,能服务于中国先进制程晶圆厂的需求。此前,国内高阶的晶圆再生需求都要送到日本、中国台湾等地处理,随着合肥至微晶圆再生项目的成功量产,如今在合肥新站高新区就可以满足高阶晶圆再生需求。

合肥至微半导体有限公司董事长廖世保表示,与传统的晶圆再生技术相比,合肥至微项目采用了最新一代技术,可以实现晶圆再生六次到七次,这将为企业节约不少成本。目前,合肥至微项目的产能已基本已被下游客户预定,可以覆盖到合肥当地的长鑫、晶合、以及周边的无锡、南京、武汉的晶圆厂。

作为合肥市“芯屏”产业的“主阵地”,目前,新站高新区已经成为全国规模最大、技术方向最齐全的新型显示产业基地。合肥至微项目成功量产,将成为国内最早具备12英寸晶圆再生及关键设备零部件再生能力的项目之一,这不仅为合肥集成电路产业链添上重要一环,也为产业高质量发展注入了新的动力。

(责编:吴西露、宫礼)

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