在儀器儀表行業，高精度傳感器是制約產業升級的關鍵部件。傳統溫度傳感器芯片存在精度不足、溫漂大、長期穩定性差等行業痛點，國內高端測溫儀器一直是組裝國外芯片。主要生產儀器儀表的天康集團進一步向產業鏈上游延伸，決定從“制造儀表”向“制造儀表核心部件”升級。依托經國家發展改革委、科技部、財政部、海關總署、稅務總局共同認定的第29批國家企業技術中心的研發平台，集成先進薄膜工藝、納米光刻、精密鍍膜全套自研制造技術，研發出高精度薄膜感溫芯片。在毫米級的超薄陶瓷基底上，鍍上一層均勻、純淨且牢固的鉑合金膜，測溫精度可達±0.15℃，這套芯片達到國際先進水平，且具有體積小、一致性高、響應快、耐高溫、長期穩定性好等特點。芯片分為兩款，一款最高可測量500℃，一款最低可以測量-196℃，年產能達2000萬隻。

         在中國國際測量控制與儀器儀表展覽會上，這套芯片作為創新產品代表進行發布。它的應用場景覆蓋傳統工業、新能源等領域，可同時滿足半導體制造、精密科研儀器、高端醫療設備、軌道交通等對測溫精度、安全穩定性的嚴苛要求。（本報記者 徐旻昊）