夏秋之交，位於安徽省阜陽市颍東化工園區的安徽中科昊海氣體科技有限公司一角，一輛氣罐車正停靠充氣，幾天后，這輛車將載著5000立方米氖氣，運往廣東一家電子廠。

作為一家涵蓋高純稀有氣體、高純氫氣、液氫等產品的綜合性氣體公司，看中昊源化工豐富的尾氣資源，中科昊海於2019年在颍東“安家”。“我們依托中科院理化所的技術支撐，斥資上馬高純特種電子氣體項目和高端氫能項目，填補了安徽生產高純度稀有氣體企業的空白。”企業總經理張峰介紹。

技術人員在中科昊海特種電子氣體生產車間查看機器運行狀態。 龐誠攝

經過緊張籌備建設，中科昊海一、二期相繼建成投產。其中，一期為高純特種電子氣體項目，主要生產氖、氦、氪、氙等高純特種電子氣體，應用於電子芯片制造、航空航天、軍工等領域，有效緩解了我國目前高端電子特氣嚴重依賴國際進口的局面。二期為高純氫和液氫等高端綠色氫能項目，配套氫液化、液氫儲運及加氫站的全套解決方案，可實現年產高純氫640萬立方米、液氫500噸。

就在兩個多月前，該企業生產的液氫得到專家組測試驗証——今年6月中旬，來自上海科技大學、中國科學院理化技術研究所、中國科學院合肥物質科學研究院的多位制冷與低溫工程領域專家齊聚阜陽，對由北京中科富海低溫科技有限公司與中國科學院理化技術研究所聯合研發、設計、制造，安徽中科昊海氣體科技有限公司應用的1.51PD氫液化裝置進行現場性能測試驗証。對液化率、產品仲氫含量、單位液化能耗等測試后，專家組形成結論，認為企業氫液化裝置性能指標等滿足考核要求。

高純氫是一種終極清潔能源，廣泛應用於氫燃料電池車、加氫站、高端電子制造等領域。其中，液氫可大大降低氫能源儲存和運輸成本，推動傳統化石能源向清潔能源轉變，可作為航天火箭發射燃料應用。去年12月27日，中科昊海1.5噸/天氫液化裝置開車成功，順利產出純度達99.9999%的液氫，高端液氫實現了“阜陽造”。而此次測試驗証，標志著中科昊海液氫生產工藝和產品都達到了相關水平，為下一步在航空航天領域應用夯實了基礎。

以高端技術與設備為依托，短短幾年，中科昊海的優質氣體產品實現產銷兩旺。截至目前，企業氣氫產量躋身全省前三，銷往省內合肥、蕪湖、蚌埠等地。氪、氙等高純特種電子氣體作為光刻機的保護器，供應台積電、中芯國際等知名企業。

尤為值得一提的是，在廠區鮮見工人忙碌的身影。張峰介紹，企業生產自動化程度較高，各生產環節信息會定時傳送到中控室進行分析，通過網絡即可調度生產。

中科昊海廠區西側，更長遠的謀劃在這裡“起筆”——投資5億元的三期集成電路和光電材料電子特氣項目，將於9月份開工建設，計劃明年6月份建成投產。項目利用昊源化工尾氣資源，採用合成、低溫分離、提純等技術，生產電子級高純一氧化碳、電子級高純二氧化碳、電子級高純氨及電子級混配氣，進一步延伸產業鏈條。

“三期產品將廣泛應用於集成電路光刻機配套、OLED顯示面板制造工藝、集成電路制造中的清洗工藝和蝕刻工藝等，市場前景非常廣闊。”張峰說。（徐立成 武艷）

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